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等離子蝕刻設(shè)備使用電極感應(yīng)溫度還是用板子感應(yīng)溫度_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設(shè)備使用電極感應(yīng)溫度還是用板子感應(yīng)溫度
2020-05-09
master
1965
等離子蝕刻設(shè)備會監(jiān)控板面和電極溫度,以板面的溫度為跳步基準。
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等離子蝕刻機清洗設(shè)備停電后有自動保存功能。
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