等離子蝕刻設備射頻：
射頻（RF）是Radio Frequency的縮寫，頻率范圍從300KHz～30GHz之間。

射頻電流，它是一種高頻交流變化電磁波的簡稱。

每秒變化小于1000次的交流電稱為低頻電流，大于10000次的稱為高頻電流，而射頻就是這樣一種高頻電流。