恒格等離子蝕刻設(shè)備和其他家等離子蝕刻設(shè)備比最大的差異與亮點：
腔體無縫焊接，真空漏率小于30mtorr/min；

電極一體成形，升溫導(dǎo)熱快、咬蝕率高、清洗保養(yǎng)不泄漏；

真空泵專利保護（變頻器/過熱/過流保護）；

電極、真空泵/電源采用獨立冷卻系統(tǒng)，運行更加安全穩(wěn)定；

腔體前后門開啟/腔體四周有可拆卸隔板方便維護保養(yǎng)